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从TCAD实验出发,研究Double Diffused Drain MOSFET(简称DDDMOS)漂移区电阻与终端电压的非线性关系以及大电流效应等;以单位面积下漂移区自由载流子浓度为基础,得出漂移区电阻的解析模型。DDDMOS可以简化成低压MOSFET与漂移区电阻的串联网络,结合低压MOSFET模型和漂移区电阻模型,求解等效网络得出DDDMOS完整的模型。该模型在不同的电压区域都能够较好地反应TCAD模拟结果。