平面直热式气敏元件及其表面修饰

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采用液相掺Sb的共沉淀方法制备低阻SnO2纳米微粉,以其为敏感材料掺入Pt2wt%及Au5.4at%的催化剂,在Si衬底上制作了平面直热式气敏元件。利用2%的Co(NO3)3溶液作为修饰液对元件进行表面修饰,可制得对NH3具有较高灵敏度及选择性的敏感材料。
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