【摘 要】
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利用双靶磁控溅射法，在普通石英玻璃基底上成功制备出Ⅱ-Ⅵ族化合物固溶体半导体Zn1-xMgxS多晶薄膜，并用X射线能量色散谱仪（EDS）、原子力显微镜（AFM）、X射线衍射仪（XRD）、紫外-可见（UV
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利用双靶磁控溅射法，在普通石英玻璃基底上成功制备出Ⅱ-Ⅵ族化合物固溶体半导体Zn1-xMgxS多晶薄膜，并用X射线能量色散谱仪（EDS）、原子力显微镜（AFM）、X射线衍射仪（XRD）、紫外-可见（UV-Vis）分光光度计、荧光分光光度计（PL）等测试手段表征了多晶薄膜的成份、表面形貌、晶体结构和光学性质。结果表明：磁控溅射法制备的Zn1-xMgxS多晶薄膜具有立方和六方相混晶相结构，晶粒生长均匀，薄膜在波长小于280nm的紫外区有强烈的吸收，在可见光区紫光范围有一个强的发光峰，而且随着Mg含量的增加，强
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