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为获得运算复杂度、速度、精度均较为理想的迟滞特性建模方法,便于微细精密运动的实时控制,提出了一种新的模糊插值算法。根据压电致动器迟滞特性曲线的几何特征,将其划分为上凸与下凹两类。利用相邻4个等分点的模糊插值模拟曲线的理想输出,分别给出该两类曲线的模糊插值方法。利用上述方法求取位移变化量,得到压电致动器Preisach模型的模糊插值算法。通过标准C语言完成了该算法并在ARM处理器三星S3C2410平台上进行了对比实验。结果表明：传统插值法误差为-0.512～0.073μm、标准差为0.184;压电致动器Pr