厚膜法制备气敏器件加热器的研究

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木文介绍的是用厚膜法制备气敏器件加热器的方法及初步探索。目的是为研制各种厚膜型器件及多功能器件提供必需的加热衬底。我们以95%Al_2O_3陶瓷做基片。在其一侧采用印刷技术先后制做电极、加热器及绝缘保护层;在另一侧,同样采用印刷技术先后制作电极及敏感材料。从以SnO_2为主体的敏感材料的试验结果来看,用厚膜法制备的气敏器件的加热衬底,完全可以满足加热要求;并可做为制做其它敏感器件加热衬底的方法。 Mu Wen describes the method of thick film method for the preparation of gas sensor heater and preliminary exploration. The purpose is to provide the necessary heating substrates for the development of thick-film devices and multi-function devices. We use 95% Al 2 O 3 ceramics as substrate. In one side of the printing technology has been used to make electrodes, heaters and insulation protection layer; on the other side, the same printing technology has also produced electrodes and sensitive materials. According to the test results of SnO 2 -based sensitive materials, the heating substrate prepared by the thick-film method can fully meet the heating requirements and can be used as a substrate heating method for other sensitive devices.
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