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为获得蓝室石单晶的镜面，本研究讨论了抛光过程中化学机械抛光的必备条件，并提出了相应的抛光机理。在新的抛光条件下获得了最终表面粗糙度为２ｎｍ的蓝宝石单晶表面。
蓝宝石单晶纳米加工技术的研究
【摘 要】
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为获得蓝室石单晶的镜面，本研究讨论了抛光过程中化学机械抛光的必备条件，并提出了相应的抛光机理。在新的抛光条件下获得了最终表面粗糙度为２ｎｍ的蓝宝石单晶表面。
【机 构】
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浙江大学,日本国琦玉大学工学部,日本国东京HiMeP研究所
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1995年S1期
【基金项目】
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国家自然科学基金，中国博士后科学基金，国家教委优秀年轻教师基金,浙江大学科研基金
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