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低能电子诱导脱附的理论研究
低能电子诱导脱附的理论研究
来源 :电子器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zz_mars
【摘 要】
:
论述了低能电子诱导脱附的物理过程和理论机制 ,分析了脱附截面的相关因素并对电子诱导脱附中的物理现象作了解释。简述了低能电子诱导脱附的应用。
【作 者】
:
张彤
毛福明
【出 处】
:
电子器件
【发表日期】
:
2000年1期
【关键词】
:
真空获得
位势
解吸
电子诱导脱附
potential energydesorptionlow energy electrons induced desorpt
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论述了低能电子诱导脱附的物理过程和理论机制 ,分析了脱附截面的相关因素并对电子诱导脱附中的物理现象作了解释。简述了低能电子诱导脱附的应用。
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