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为制备硼边附近6．7nm波长的极紫外高反射率多层膜反射镜，研究了Mo2C／B4C，Mo／B4C周期多层膜，重点解决薄膜应力难题。采用直流磁控溅射技术制备了膜层厚度为30nm的Mo，Mo2C，B4C单层膜，周期厚度为3．5nm，30对的Mo2C／B4C，Mo／B4C周期多层膜。利用台阶仪测试了镀膜前后基底面形，计算并比较了不同薄膜样品的应力值。结果表明Mo：C／B。C多层膜压应力要远小于Mo／B4C多层膜，且成膜质量与Mo／B4C相当。因此Mo2C／B4C是应用于6．7nm反射镜较好的多层膜材料组合。