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期刊论文
重新定义可提高成品率的设计
重新定义可提高成品率的设计
来源 :中国集成电路 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tangjun6422443
【摘 要】
:
一个芯片在大批量上市以前,首先必须可以生产并有适当的成品率。为了满足90纳米及以下技术制造的要求,必须采用新的方法弥补设计与制造之间的鸿沟。本文对该领域的关键技术进行
【作 者】
:
SrinivasRaghvendra
【机 构】
:
Synopsys集团公司总监
【出 处】
:
中国集成电路
【发表日期】
:
2004年4期
【关键词】
:
半导体制造
光蚀刻
成品率
材料效应
Tapeout
化学机械抛光
光学逼近纠正法
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一个芯片在大批量上市以前,首先必须可以生产并有适当的成品率。为了满足90纳米及以下技术制造的要求,必须采用新的方法弥补设计与制造之间的鸿沟。本文对该领域的关键技术进行了阐述。半导体行业正处于一个前所未有的变革时期。对“摩尔定律”的不懈追求带来了层出不穷的物理和
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