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本文简要介绍了一种矩形电子束曝光机图形转换软件的结构、工作原理和工作过程，在此前提下，根据这套软件的实际工作情况简要介绍了使用该软件的具体方法，并对使用该软件对容易遇到的困难和一些应注意的细节做了清楚的说明，此外还简略说明了作者对该软件所做的几处修改。
JBX—6A2电子束曝光机图表数据转换软件的开发与应用
【摘 要】
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本文简要介绍了一种矩形电子束曝光机图形转换软件的结构、工作原理和工作过程，在此前提下，根据这套软件的实际工作情况简要介绍了使用该软件的具体方法，并对使用该软件对容易遇
【机 构】
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中国科学院电工研究所
【出 处】
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电工电能新技术
【发表日期】
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1995年4期
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