【摘 要】
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离子束处理在器件工艺和材料表征技术中有着广泛的应用．本文采用低能电子衍射、Ｘ光电子能谱和角分辨紫外光电子能谱对ＧａＰ极性表面经Ａｒ离子溅射后的损伤情况进行了研究．主要探讨表面损
【机 构】
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复旦大学应用表面物理国家重点实验室
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离子束处理在器件工艺和材料表征技术中有着广泛的应用．本文采用低能电子衍射、Ｘ光电子能谱和角分辨紫外光电子能谱对ＧａＰ极性表面经Ａｒ离子溅射后的损伤情况进行了研究．主要探讨表面损伤及其消除、表面能带弯曲等问题．
Ion beam processing has a wide range of applications in device technology and material characterization. In this paper, low-energy electron diffraction, X-ray photoelectron spectroscopy and angle-resolved UV-Vis spectroscopy were used to study the damage of GaP polar surface after Ar ion sputtering. Mainly on the surface damage and elimination, surface energy band bending and other issues.
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