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本文讨论了金属氧化物表面的气—固,气—气反应及其相关的电子过程。这是金属氧化物半导体电阻型气敏传感器作用机理的基础。在此基础上,定性和半定量地解释了许多实验事实。
氧化物半导体的表面过程与气敏机理
【摘 要】
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本文讨论了金属氧化物表面的气—固,气—气反应及其相关的电子过程。这是金属氧化物半导体电阻型气敏传感器作用机理的基础。在此基础上,定性和半定量地解释了许多实验事实。
【机 构】
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西安电子科技大学,西安电子科技大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1991年6期
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