一个计算快重离子辐照引起薄膜附着增强剂量阈值的实验公式

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利用能量为6MeV的F离子对蒸发淀积在聚四氟乙烯上的不同金属薄膜进行了辐 照实验,并测定了产生增强附着的剂量阈值。在实验的基础上给出了一个计算剂量阈值 的公式。应用这一公式计算的结果与现有的其它实验数据符合较好。运用辐照引起薄膜 内应力变化的观点对这一公式给予了定性的解释。 Irradiation experiments were performed on different metal films evaporated on polytetrafluoroethylene using F ions with an energy of 6 MeV and the dose threshold for enhanced adhesion was determined. Based on the experiment, a formula for calculating the dose threshold is given. The results calculated by this formula are in good agreement with other experimental data available. This formula is given a qualitative explanation from the point of view of the change of stress in the film caused by irradiation.
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