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利用GCR-170型脉冲激光器Nd：YAG的三次谐波（355nm），以蓝宝石Al2O3（0001）为衬底，在不同温度下采用脉冲激光沉积法制备了ZnO薄膜．通过原子力显微镜、Raman谱、光致发光谱、红外透射谱、霍尔效应和表面粗糙度分析仪对制备的ZnO薄膜进行了测试．分析了在不同衬底温度下薄膜的表面形貌、光学特性，同时进行了薄膜结构和厚度的测试．研究表明：衬底温度对ZnO薄膜的表面形貌、光学特性、结构特性都是重要的工艺参量，尤其在500℃时沉积的ZnO薄膜致密均匀，并表现出较强的紫外发射峰．