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以经过聚乙烯吡咯烷酮（PVP）进行表面修饰的聚苯乙烯（Ps）微球为内核，在碱性条件下采用溶胶一凝胶法在Ps微球直接包覆SiO2制备有机／无机PS／SiO2复合微球，通过控制反应体系中正硅酸乙酯（TOES）的浓度来摔制复合微球中氧化硅的质量分数，并借助原子力显微镜（AFM）考察了PS／SiO2复合磨料对硅热氧化片的抛光特性，初步分析有机／无机复合磨料的非刚性力学特性对抛光质量的影响。透射电镜（TEM）结果显示：复合微球具有草莓状核壳包覆结构，其氧化硅壳层是由SiO2纳米颗粒所组成；热失重分析（TGA）表明：