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纳米多层超硬膜力学性能研究进展
纳米多层超硬膜力学性能研究进展
来源 :金属热处理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:slim_ning
【摘 要】
:
纳米多层膜显著改善了膜层的硬度、韧性、耐磨性及耐热性,能够满足各种特殊应用需要,成为硬质薄膜研究的热点课题。本文综述了近年来纳米多层膜在硬度、耐磨性及热稳定性方面
【作 者】
:
任毅
周家斌
付志强
王成彪
吕建国
于翔
彭志坚
【机 构】
:
中国地质大学北京工程技术学院
【出 处】
:
金属热处理
【发表日期】
:
2007年5期
【关键词】
:
纳米多层膜
硬度
耐磨性
热稳定性
nano-muhilayer films
hardness
wear resistance
thermal sta
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纳米多层膜显著改善了膜层的硬度、韧性、耐磨性及耐热性,能够满足各种特殊应用需要,成为硬质薄膜研究的热点课题。本文综述了近年来纳米多层膜在硬度、耐磨性及热稳定性方面的研究成果,分析了它们的主要影响因素,并对今后纳米多层膜的发展趋势进行了展望。
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