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考虑到nip型[ITO／a—Si（n）／aSi（i）／a—Si（p）／A1]非晶硅光伏电池的各膜层厚度、掺杂浓度等因素，对非晶硅光伏电池的转换效率、填充因子、开路电压等性能参数进行了数值分析与讨论。结果表明，随P型层厚度的增加，光伏电池的短路电流密度、转换效率、开路电压值都有所增加。当本征层的厚度增加时，短波段内的光谱响应变差、内量子效率下降。当n型层厚度为5nm，本征层厚度为5nm，P型层厚度为10μm，受主掺杂浓度为2．5×10^19cm^-3，施主掺杂浓度为1．5×10^16cm