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简述了微电子机械系统的起源和特点，介绍了LIGA技术的基本原理以及一些相关技术，对同步辐射深度光刻的技术要求进行了详细地说明，并介绍了国内外利用LIGA技术进行微电子机械系统研发的现状。
同步辐射讲座——第五讲 微电子机械系统加工新方法——LIGA技术
【摘 要】
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简述了微电子机械系统的起源和特点，介绍了LIGA技术的基本原理以及一些相关技术，对同步辐射深度光刻的技术要求进行了详细地说明，并介绍了国内外利用LIGA技术进行微电子机械系统
【机 构】
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中国科学院技术大学国家同步辐射实验室,中国科学院高能物理研究所同步辐射实验室
【出 处】
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物理
【发表日期】
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2002年11期
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