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采用电镀工艺制备了CIS太阳能电池的Cu—In预制薄膜,通过分析不同温度热处理后材料结构的变化,研究了Cu-In预制层薄膜的相变规律及其表面特征。实验结果表明:在433K温度下进行热处理后,Cu—In薄膜由单质In及少量Cu11In9构成,此时单质In熔化,凝固后其表面In颗粒长大;当热处理温度高于577K时,在表面富In区发生固液转变,薄膜表面更加致密。随着Cu和In原子相互扩散加剧,Cu11In9最终完全转变为Cu16In9。