金刚石热化学抛光的机理研究

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【摘要】

：

在完成了金刚石表面的热化学抛光后,应用原子力显微镜(AFM)观测加工后表面形成的微观结构,并用扫描电子显微镜(SEM)加以校验.借助X射线光电子能谱(XPS)技术对采样所得铁盘的

【作者】

：

蒋中伟张竟敏黄文浩

【机构】

：

中国科学与技术大学

【出处】

：

光学精密工程

【发表日期】

：

2002年1期

【关键词】

：

金刚石抛光热化学抛光原子力显微镜 X射线光电子能谱 diamond polishing thermo_chemical polishing atomic

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在完成了金刚石表面的热化学抛光后,应用原子力显微镜(AFM)观测加工后表面形成的微观结构,并用扫描电子显微镜(SEM)加以校验.借助X射线光电子能谱(XPS)技术对采样所得铁盘的两个不同区域进行多方面的对比分析,初步确定了抛光过程中发生的理化反应和结果生成物.并在此基础上对热化学抛光各阶段的工作机理作了深入探讨,明确了研磨表面平整、出现凹槽等现象的原因.结论与实验分析结果能够较好地吻合.

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