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近年来，随着仪器类微型化技术的发展，针对工业和医用领域狭窄的地方作业困难这一问题，研究人员正在研究开发适用的微机械，对此，微机械的微型结构部件研制技术显得非常重要。本文将对微机械部件的加工方法一微研磨技术作以介绍。
微研磨技术
【摘 要】
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近年来，随着仪器类微型化技术的发展，针对工业和医用领域狭窄的地方作业困难这一问题，研究人员正在研究开发适用的微机械，对此，微机械的微型结构部件研制技术显得非常重要。本文将
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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1995年6期
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