溅射法合成Al/Pb多层膜的结构与形貌研究

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铝铅合金的组织均匀性一直是其应用的瓶颈.本文通过溅射法制备了Al/Pb多层膜合金.经测试及FWHM计算,铝铅颗粒以纳米尺寸存在并分布均匀,实验分析表明,Al峰的消失与多层膜的生长方式有关,合金中存在一定量的非晶.
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