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在测试大量纤锌矿GaN外延薄膜透射光谱基础上,通过对有代表性的四个样品的透射光谱进行拟合,获取了GaN外延薄膜的光学常量并计算了薄膜厚度.结果表明：GaN外延薄膜的折射率差异较小,但在370～800 nm波长范围内消光系数差异很大,GaN薄膜的消光系数差异在一定程度上可用以评价外延薄膜的质量.
纤锌矿GaN薄膜光学性质的研究
【摘 要】
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在测试大量纤锌矿GaN外延薄膜透射光谱基础上,通过对有代表性的四个样品的透射光谱进行拟合,获取了GaN外延薄膜的光学常量并计算了薄膜厚度.结果表明：GaN外延薄膜的折射率差异
【机 构】
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中国科学院上海技术物理所传感技术国家重点实验室
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2007年2期
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