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现场采集ＰＥＴＥＯＳ发射光谱，分析和研究用等离子体正硅酸乙酯淀积氧化硅反应的机理和产物，并初步探究如何达到工艺控制，应用于生产的问题。
PETEOS发射光谱分析
【摘 要】
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现场采集ＰＥＴＥＯＳ发射光谱，分析和研究用等离子体正硅酸乙酯淀积氧化硅反应的机理和产物，并初步探究如何达到工艺控制，应用于生产的问题。
【机 构】
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上海华东师范大学电子工程系
【出 处】
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华东师范大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1995年1期
【基金项目】
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上海科委自然科学基金
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