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为了推动微加工和微机械技术的进步,微型零件轮廓和尺度测量方法的发展非常重要.可行方法之一就是使用带微探头的小型三维轮廓测量仪.这种仪器的探头必须针对某个零件的测量,按照最佳外形制造.微放电加工有着极小加工力,可用于各种探头的制造,本研究中用它进行探头加工.用这种方法制造了多种探头,将其装在基于扫瞄隧道显微技术(STM)的小型三维轮廓测量仪上.所制造的探头已被成功地用于各种微元件测量,结果表明此方法可行.