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MEMS面内位移的测量是其动态测量中的一项重要内容。测量MEMS的位移量通常会直接选取单点为参考点来进行位移的测量，这种测量方法比较简单，计算量小，但是误差大。本文提出了一种基于区域质心的MEMS面内位移测量法，由于对于一个固定的模版，其质心位置相对于模板是不变的，不会随着图像移动、旋转伸缩而有大幅度的位置变化，使测量更准确。