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介绍了碲锌镉晶片双面磨抛机的工艺过程和原理,研究了双面磨抛工艺中磨抛液粒度、抛光压力、抛光液流量和工作台转速对晶片表面粗糙度及平整度的影响.
碲锌镉晶片双面机械化学磨抛分析
【摘 要】
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介绍了碲锌镉晶片双面磨抛机的工艺过程和原理,研究了双面磨抛工艺中磨抛液粒度、抛光压力、抛光液流量和工作台转速对晶片表面粗糙度及平整度的影响.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京 100176
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2020年6期
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