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以聚乙二醇（PEG2000）为模板剂，醋酸锌为前驱体，乙醇为溶剂，二乙醇胺为络合剂，通过溶胶-凝胶法在玻璃基片上制备了ZnO多孔薄膜。利用IR、TG-DTA、及SEM等测试方法对薄膜的结构和特性进行了分析。探讨了样品在溶胶-凝胶及煅烧过程中的物理化学变化。研究了前驱体浓度、PEG2000加入量对薄膜结构和性能的影响。结果表明，当Zn^2＋的浓度为0．6mol／L时，加入PEG2000后，有利于ZnO多孔结构的形成，而且孔尺寸及密度也随PEG加入量的增大而增大。随孔尺寸的增大，ZnO粉末的比表面积先增加后下