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本文介绍了双波长激光量块干涉仪的工作原理,详细描述了仪器的光学、机械设计以及干涉图象处理和量块中心长度自动判读技术.该干涉仪满足1等量块的测量不确定度要求,目前已用于高等级量块的自动化测量.
双波长激光量块干涉仪研制
【摘 要】
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本文介绍了双波长激光量块干涉仪的工作原理,详细描述了仪器的光学、机械设计以及干涉图象处理和量块中心长度自动判读技术.该干涉仪满足1等量块的测量不确定度要求,目前已用
【机 构】
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上海市计量测试技术研究院,南京理工大学电光学院
【出 处】
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上海计量测试
【发表日期】
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2001年5期
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