【摘 要】
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Ta2O5薄膜是可见光到近红外波段中重要的高折射率薄膜材料之一.本文针对离子束溅射制备Ta2O5薄膜的光学带隙特性开展了实验研究工作,基于Cody-Lorentz模型表征了薄膜的光学带
【机 构】
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中国航天科工飞航技术研究院天津津航技术物理研究所天津市薄膜光学重点实验室,哈尔滨工业大学光电子技术研究所可调谐激光技术国防科技重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(No.61405145,No.61235011);天津市自然科学重点基金资助项目(No.15JCZDJC31900);中国博士后科学基金资助项目(No.2015T80115,No.2014M560104)
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Ta2O5薄膜是可见光到近红外波段中重要的高折射率薄膜材料之一.本文针对离子束溅射制备Ta2O5薄膜的光学带隙特性开展了实验研究工作,基于Cody-Lorentz模型表征了薄膜的光学带隙特性,重点针对薄膜的禁带宽度和Urbach带尾宽度与制备参数之间的相关性进行研究.研究结果表明：在置信概率95％以上时,对Ta2O5薄膜禁带宽度影响的制备参数,权重大小依次为氧气流量、基板温度、离子束电压;而对Ta205薄膜Urbach带尾宽度影响的制备参数,权重大小依次为基板温度和氧气流量.对于Ta2O5薄膜在超低损耗激
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