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磨削工艺直接影响着磨削后晶片的参数,在这些参数中,表面粗糙度是鉴别晶片几何参数好坏的重要指标之一。分析了磨削工艺中砂轮粒度、砂轮进给速度对表面粗糙度的影响。
磨削工艺对晶片表面粗糙度的影响
【摘 要】
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磨削工艺直接影响着磨削后晶片的参数,在这些参数中,表面粗糙度是鉴别晶片几何参数好坏的重要指标之一。分析了磨削工艺中砂轮粒度、砂轮进给速度对表面粗糙度的影响。
【机 构】
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北京中电科电子装备有限公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2015年3期
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