对于n-PERT电池,硼扩散是形成p-n结的关键工艺并且直接影响电池性能.为优化正面硼扩散掺杂层的性能,研究液态源(BBr3)扩散过程中推进温度和推进时间对硼表面掺杂浓度和结深的影响,并且结合PC1D的模拟结果,分析不同的正面硼发射极对n-PERT太阳电池性能的影响.研究结果表明,推进温度在950～970℃范围变化时,随着推进温度的升高,结深由0.4 μm增加到0.63 μm,硼表面掺杂浓度由4.3×1019 cm-3增加到5.9×1019cm-3;推进时间由25 min增加到40 min过程中,结深由0.47 μm增加到0.64 μm,硼表面掺杂浓度有较小的下降;当发射极表面浓度较低,结深较深时,有利于提升电池性能;该实验在模拟计算和工艺优化的基础上制备出效率为20.03％的n-PERT电池.