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纳米压印技术是一种新型的纳米级图形转移技术，纳来压印过程中施压和加热是两个非常重要的工艺过程。文章中设计了新型纳米压印腔室，采用超声波加热代替传统加热方式，利用压缩气体产生的压力施压。超声波加热速度快，温度可控。压缩气体施压压力均匀、设计简单。
基于压缩气体施压的纳米压印技术研究
【摘 要】
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纳米压印技术是一种新型的纳米级图形转移技术，纳来压印过程中施压和加热是两个非常重要的工艺过程。文章中设计了新型纳米压印腔室，采用超声波加热代替传统加热方式，利用压缩气
【机 构】
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华北水利水电大学,郑州大学
【出 处】
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电子世界
【发表日期】
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2013年14期
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