BST薄膜漏电流温度特性研究

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采用射频溅射制备Ba0.8Sr0.2TiO3(BST)薄膜,研究了测试温度(295~375K)对BST薄膜J-V(电流密度-电压)特性的影响。实验发现:J∝V^m在低场下(V〈1.8V)m≈1,高场下(V〉1.8V)m≈8。随着测试温度升高,在低场下电流密度增大,指数优值保持不变;而在高场下电流密度减小,指数优值减小。通过进一步分析发现:电流密度和温度的关系在低场下满足InJ∝-1/T,在高场下满足logJ∝1/t。
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