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在微波测量领域,功率计、示波器、检波器和矢量网络分析仪都是常用测量器件,其使用过程中引入的误差对实验结果的准确性有直接的影响。在描述了功率计、示波器、检波器和矢量网络分析仪在微波功率测量领域的使用方法的基础上,分析对比了一些典型型号的测量器件在不同测量条件下引入的测量误差。实验结果表明:检波器测得的功率比示波器测得的功率最大大0.4dB。示波器的不同带宽抑制对功率测量最大相差0.3dB。N9917矢量网络分析仪比AV3672矢量网络分析仪在频率4GHz,衰减器衰减幅值为60dB时测得的功率大1dB。