【摘 要】
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氮化铝（AlN）粉体中的金属杂质与氧化是影响其纯度和性能发挥的主要因素,而酸洗是提纯AlN粉体的有效手段。实验采用磷酸（H3PO4）、硝酸（HNO3）、氢氟酸（HF）和盐酸（HCl）对AlN粉体进行酸洗提
【机 构】
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武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室
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氮化铝（AlN）粉体中的金属杂质与氧化是影响其纯度和性能发挥的主要因素,而酸洗是提纯AlN粉体的有效手段。实验采用磷酸（H3PO4）、硝酸（HNO3）、氢氟酸（HF）和盐酸（HCl）对AlN粉体进行酸洗提纯,主要研究了酸洗过程中酸液的选择与配比对提纯效果的影响。实验结果表明:这四种酸均显著降低了AlN粉体表面的金属杂质含量,而HF和HNO3的混合酸具有更好的提纯效果,特别能降低其中的Na、W、Fe等金属杂质,而且还可通过HF与Al2O3的反应有效去除氧杂质。HF/HNO3酸液的适宜配比为HF∶HNO3=2∶1,在该条件下酸洗后的AlN粉体中,金属杂质含量均下降到100 ppm以下,氧含量仅为1.2wt%。
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