【摘 要】
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通过改变气氛条件及加工工艺参数,研究高功率紫外激光切割铜薄膜的切割性能及影响因素,并且利用正交实验设计的方法,确定了影响切缝宽度和切割质量的主次因素。在实验的基础
【机 构】
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北京工业大学激光工程研究院,北京工业大学激光工程研究院,北京工业大学激光工程研究院 北京100022,北京100022,北京100022
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通过改变气氛条件及加工工艺参数,研究高功率紫外激光切割铜薄膜的切割性能及影响因素,并且利用正交实验设计的方法,确定了影响切缝宽度和切割质量的主次因素。在实验的基础上,成功的利用高功率三倍频紫外激光制作出高质量的铜质薄膜器件。
By changing the atmosphere conditions and processing parameters, the cutting performance and influencing factors of the high power UV laser cutting copper film were studied. And the primary and secondary factors affecting the width and cutting quality of the kerf were determined by orthogonal experiment design. Based on the experiment, the high power triplet UV laser was successfully used to fabricate high quality copper thin film devices.
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