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期刊论文
难熔金属钼的刻蚀
难熔金属钼的刻蚀
来源 :微电子学与计算机 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fengliufeng
【摘 要】
:
本文叙述了3μm 宽的钼栅图形的反应离子刻蚀(RIE)工艺并将其用于CMOS IC 的制备中.
【作 者】
:
邵传芬
【机 构】
:
上海交通大学微电子所
【出 处】
:
微电子学与计算机
【发表日期】
:
1990年10期
【关键词】
:
难熔金属
钼
刻蚀
反应离子刻蚀
Refractory Metal
RIE
Mo-film
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本文叙述了3μm 宽的钼栅图形的反应离子刻蚀(RIE)工艺并将其用于CMOS IC 的制备中.
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