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为提高集束型设备群的生产效率，在考虑加工不同种类晶圆条件下，研究带驻留约束的双臂集束型设备群的建模与调度问题．提出虚拟缓冲模块概念，引入时间区间集来描述系统的运行状态，并以此建立调度问题的非线性规划模型；结合数学模型，提出一种以时间区间集为核心的基于虚拟缓冲模块概念和交换策略的调度算法；对所提出的算法进行了仿真分析．结果表明：所构建的算法运行时间短，调度1个Lot数量的晶圆仅仅需要0．5s左右，响应时间快；与研究问题域的下界比较，算法的结果接近下界；当设备因子大于5时，周期延长率R已经全部小于0．05，取