缺陷对LSI和VLSI的危害及其控制的方法

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【摘要】

：

本文着重的讨论了缺陷(包括材料内在的和加工过程中引入的缺陷)对集成电路的危害。这些缺陷包括材料中的位错、沉积物和旋涡等。在光刻、氧化、扩散、离子注入、电子束蒸发和

【作者】

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张通和

【机构】

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北京师范大学低能核物理研究所

【出处】

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微处理机

【发表日期】

：

1985年1期

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本文着重的讨论了缺陷(包括材料内在的和加工过程中引入的缺陷)对集成电路的危害。这些缺陷包括材料中的位错、沉积物和旋涡等。在光刻、氧化、扩散、离子注入、电子束蒸发和等离子刻蚀的过程中都会引入缺陷。这些缺陷主要是以各种形式的位错出现。这些缺陷使集成电路LSI和超大规模集成电路(VLSI)管芯漏电变大、管芯内电阻率变化加大、MOS电路阈值漂移以致

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