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发光二极管（LED）可以通过采用压印光刻的光子晶体提高效率。为了改进光提取和光束形状，很多LED制造商正在开发光子晶体LED。其挑战主要是晶圆并非非常清洁和平整，并容易带有数微米尺寸的表面突起。
压印光刻引领光子晶体浪潮
【摘 要】
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发光二极管（LED）可以通过采用压印光刻的光子晶体提高效率。为了改进光提取和光束形状，很多LED制造商正在开发光子晶体LED。其挑战主要是晶圆并非非常清洁和平整，并容易带有数微
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2009年6期
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