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运用ANSYS对圆盘谐振器的结构进行有限元分析，并结合集总参数模型，确定了圆盘谐振器锚点尺寸与位置对圆盘谐振器性能的影响，包括谐振频率，振幅与品质因子（Q）．在此基础上，提出了一种在圆盘谐振器高阶模式的节点环处做锚点的方案，不仅可以使圆盘谐振器工作在更高的谐振频率，同时也降低了微加工精度的要求．