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期刊论文
微传感器压力测量系统
微传感器压力测量系统
来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lansu_0754
【摘 要】
:
压力是应用最为广泛的物理参数之一,压力测量在工业生产中必不可少.在研究微电容传感器的基础上,分析了压力测量的工作原理,提出一种基于微电容传感器的压力测量的设计方法,
【作 者】
:
杨世忠
邢丽娟
【机 构】
:
青岛理工大学自动化工程学院
【出 处】
:
仪表技术与传感器
【发表日期】
:
2007年8期
【关键词】
:
压力
微传感器
电容式
测量
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压力是应用最为广泛的物理参数之一,压力测量在工业生产中必不可少.在研究微电容传感器的基础上,分析了压力测量的工作原理,提出一种基于微电容传感器的压力测量的设计方法,给出适合该种传感器的信号检测电路和压力测量系统组成.实践表明,此设计方法具有较高的准确性和应用推广价值.
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