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对影响电感耦合等离子体系统稳定性的射频功率、氩气流速、进样条件等因素进行了考察，提出了判断和减小ＩＣＰ系统漂移的方法。
电感耦合等离子体系统的漂移与监控
【摘 要】
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对影响电感耦合等离子体系统稳定性的射频功率、氩气流速、进样条件等因素进行了考察，提出了判断和减小ＩＣＰ系统漂移的方法。
【机 构】
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江苏农学院理化测试中心
【出 处】
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江苏农学院学报
【发表日期】
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1996年03期
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