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综述了典型的硅微加速度传感器的原理，结构和特性，分析了硅微加速度传感器中的几项关键技术和研究方向。
硅微加速度传感器的现状及研究方向
【摘 要】
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综述了典型的硅微加速度传感器的原理，结构和特性，分析了硅微加速度传感器中的几项关键技术和研究方向。
【机 构】
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重庆大学光电精密机械研究所,国家教委教学仪器研究所
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1995年5期
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