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本文介绍了微电子机械制造工艺的基本要求，尺寸极限。并且设计了一个3D集成式微结构制造系统。该系统是在旋转工作台面上，用快速中子原子束刻蚀来实现3D成形。
微电子机械加工研究
【摘 要】
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本文介绍了微电子机械制造工艺的基本要求，尺寸极限。并且设计了一个3D集成式微结构制造系统。该系统是在旋转工作台面上，用快速中子原子束刻蚀来实现3D成形。
【机 构】
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浙江省水利水电专科学院,浙江大学机械电子控制工程研究所,浙江国际商会实业有限责任公司
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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2001年2期
【基金项目】
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浙江省自然科学基金
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