热激励微机械谐振器闭环自激与检测电路研制

来源 :中国水运(下半月) | 被引量 : 0次 | 上传用户:winter2009
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为了高精度、高速测量微谐振器谐振频率的变化,利用锁相环精确选频跟踪的特性,研制了以MAX038集成芯片为核心的闭环自激与检测电路.结合锁相环电路稳态相差与环路滤波器传递函数的关系,重点研究了基于波形发生器MAX038的无相差锁相电路参数的选取原则.基于该原则选取参数制作的电热激励/压阻检测微梁谐振器闭环自激与检测电路可有效地降低相位噪声的影响,自动跟踪微谐振器谐振频率和相位的变化.
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