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为基于晶圆的半导体制造工艺控制提供传感器的OnWafer科技公司日前宣布进入光掩膜市场，已向掩膜公司、掩膜设备OEM和扫描仪设备OEM推出所谓的Mask Temp Sensor Plare无线传感器。
OnWafer面向工艺控制推出“无线掩膜”
【摘 要】
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为基于晶圆的半导体制造工艺控制提供传感器的OnWafer科技公司日前宣布进入光掩膜市场，已向掩膜公司、掩膜设备OEM和扫描仪设备OEM推出所谓的Mask Temp Sensor Plare无线传感
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2004年11期
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