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针对隔离型压力传感器封装的特点,介绍了波纹膜片的设计过程并利用有限元分析方法对影响波纹膜片性能的主要因素—膜片厚度和波纹深度进行了分析研究,对波纹膜片的结构进行优化,改善了封装有波纹膜片的压力传感器的线性度和灵敏度。
基于压力传感器封装的波纹膜片的结构研究
【摘 要】
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针对隔离型压力传感器封装的特点,介绍了波纹膜片的设计过程并利用有限元分析方法对影响波纹膜片性能的主要因素—膜片厚度和波纹深度进行了分析研究,对波纹膜片的结构进行优
【机 构】
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西安交通大学机械工程学院,西安交通大学机械工程学院机械制造系统工程国家重点实验室博士研究生,西安交通大学机械工程学院机械制造系统工程国家重点实验室硕士研究生
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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2008年12期
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