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针对射频板条CO2激光器所采用的非稳-波导混合腔反射镜热变形问题。利用有限元分析法仿真得出了反射镜的热变形和温度分布,并提出了一种背面多热丝同步加热自适应补偿方法。结果表明,加热补偿方法可将反射镜的曲率变形从0.16%降低到0.02%以内,并获得了不同激光功率下的补偿曲线。
射频板条激光器反射镜变形自适应补偿的有限元仿真研究
【摘 要】
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针对射频板条CO2激光器所采用的非稳-波导混合腔反射镜热变形问题。利用有限元分析法仿真得出了反射镜的热变形和温度分布,并提出了一种背面多热丝同步加热自适应补偿方法。
【机 构】
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厦门大学物理与机电工程学院机电工程系
【出 处】
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应用激光
【发表日期】
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2014年4期
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